ICS 31.080.30 CCS L 44 团体 标准 T/CASAS 043—2025 代替 T/CASAS 043 —2024 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 （SiC MOSFET ） 高温反偏试验方法 High temperature reverse bias test method for silicon carbide metal - oxide semiconductor filed effect transistors (SiC MOSFET) 2025 - 12 - 30发布 2025 - 12 - 30实施 第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CASAS 043 —2025 I 目次 前言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ ...... II 引言 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .... IV 1 范围 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ................................ ................................ .............. 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ................................ ................................ ...................... 1 4 原理 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .. 2 目的 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................... 2 原理 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................... 3 5 试验条件 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 3 环境要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 3 试验参数要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ........... 3 6 仪器设备 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 3 7 样品 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ .. 4 8 试验步骤 ................................ ................................ ................................ ................................ .......................... 4 试验流程 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 4 选择样品 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 5 初始值测量 ................................ ................................ ................................ ................................ ............... 5 施加应力 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 5 8.4.1 应力条件 ................................ ................................ ................................ ................................ ............ 5 8.4.2 温度及偏置电源设置 ................................ ................................ ................................ ........................ 6 撤除应力 ................................ ................................ ................................ ................................ ................... 6 中间测量或终点测量 ................................ ................................ ...........................