ICS 71.100.20 CCS CCGA L90 中 国 工 业 气 体 工 业 协 会 团体标准 T/CCGA 30009—2025 电子级混合气体配制技术要求 Technical requirements for preparation of electronic gases mixture 2025-04-25发布 2025-05-25实施 中国工业气体工业协会 发布 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30009 —2025 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 基本要求 ................................ ................................ ........... 2 5 设备设施要求 ................................ ................................ ....... 2 6 技术要求 ................................ ................................ ........... 2 7 配制要求 ................................ ................................ ........... 3 8 标志、包装及使用要求 ................................ ............................... 3 参考文献 ................................ ................................ .............. 4 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30009 —2025 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国工业气体工业协会提出并归口。 本文件起草单位：北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股 份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会 。 本文件主要起草人：马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、 吴国忠。 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30009 —2025 1 电子级混合气体配制技术要求 1 范围 本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标 志、包装及使用要求。 本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T 5099 （所有部分） 钢质无缝气瓶 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 11640 铝合金无缝气瓶 GB/T 15382 气瓶阀通用技术要求 GB/T 16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序 GB/T 34525 气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定 GB/T 34526 -2017 混合气体气瓶充装规定 GB/T 34710 （所有部分） 混合气体的分类 GB/T 43072 气瓶追溯体系建设实施指南 GB 50646 特种气体系统工程技术标准 TSG 07 特种设备生产和充装单位许可规则 TSG 23 气瓶安全技术规程 T/CCGA 10013 实验室气体安全导则 T/CCGA 20006 气瓶安全使用技术规定 T/CCGA 90001 氧气和富氧场所的火灾危险 T/CCGA 90002 惰性气体或缺氧场所的危险 T/CCGA 90003 混合气体的分类：氧化性分类 3 术语和定义 GB/T 34526 -2017、GB/T 34710 （所有部分）、 T/CCGA 90003 界定的以及下列术语和定义适用于本 文件。 3.1 电子级混合气体 electronic gases mixture 含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的电子级气体。 3.2 EP管 electro-polished pipe 经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化 学抛光无缝不锈钢管。 注： [来源：GB 50646—2011，2.0.34] 3.3 氧清洁 oxygen cleaning 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30009 —2025 2 清洁与氧气或富氧气体接触的设备、零件及通道表面， 使其去除油、脂、非挥发性残留物、颗粒和 纤维等污染物。 注： 脱脂是氧清洁的一种或一个环节。 3.4 氧兼容 oxygen compatibility 在特定压力、温度下 ，材料与氧和潜在点火源安全共存的能力。 4 基本要求 4.1 人员要求 4.1.1 所有电子级混 合气体配制人员及相关人员均应经培训考核合格，掌握电子级混合气体配制的技 术和安全要求。 4.1.2 电子级混 合气体配制人员及配制前后检查人员，应取得特种设备作业人员资格证书。 4.1.3 质量安全员、质量安全总监应按要求，经过专业技术培训合格，掌握质量相关法规标准，落实 产品质量安全责任的行为及其监督管理。 4.1.4 应有与充装介质相适应的电子气体分析人员，并应取得相应的电子气体分析能力评价证书。 4.2 配制机构要求 4.2.1 配制机构应满足 TSG 23、TSG 07规定的要求。 4.2.2 除一般性气体配制一般性电子级混合气体外，应按 TSG 07取得充装许可证。 5 设备设施要求 5.1 电子级混合气体配制机构应具备 GB/T 34526 -2017中7.1要求的设备设施，使用的压力表精度应 不低于2.5级。 5.2 电子级混合气体配制系统、气瓶及瓶阀应满足配制需要，其材质、材料应不与电子级混合气体中 的组分发生任何化学反应，且不影响气体的质量。 5.3 氧气及强氧化性原料气体及电子级混合气体气瓶的瓶阀、密封材料应采用氧兼容材料。 5.4 可燃性与氧化性，酸性与碱性气体电子级混合气体的配制不宜使用同一个配制装置。 5.5 所有使用氧气及强氧化性原料气体或含氧混合气体的配制装置的管道、阀门及相关设施应进行氧 清洁。 5.6 配制装置及相关设备应设置良好的接地保护。 5.7 应配有耐高压、耐腐蚀的精密气体过滤器，并定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量。 5.8 气体储存间以及配制间，应根据原料气、产品电子级混合气体的特性，设置可燃气体、有毒气体 或其他气体浓度检测报警设备，并设有效通风设施。 5.9 氧化性气体与可燃性气体不应储存在同一房间。 5.10 配制间温度、湿度应符合相关要求及配制产品要求。 5.11 真空泵宜放置在配制间外 ，并保持良好通风。 5.12 气体分析间的设备设施，应符合 T/CCGA 10013 的要求。 6 技术要求 6.1 电子级混合气体配制装置的管路宜采用 EP管（电解研磨）级别，材质应符合 5.2的要求。 6.2 配制系统的外观检验、强度试验和气密性试验验收应按照 GB 50646 的要求进行。 6.3 配制系统的验收应按照 GB 50646 的要求进行露点、水份、氧含量试验。 6.4 配制系统在 6.3验收合格后应进行氦检漏试验，内向测漏法测定的泄漏率不大于 1×10-9 mbar·l/s，阀座测漏法测定的泄漏率不大于 1×10-6 mbar·l/s，外向测漏法测定的泄漏率不大于 1× 10-6 mbar·l/s。 6.5 首次启用 配气系统应进行真空氦检漏，抽真空至 10-6 Pa,然后充入符合 GB/T 4844 的高纯氦进行 检漏或者高压保压检漏 ，泄漏率 不大于1×10-7。 全国团体标准信息平台 T/CCGA 300